真空系统的工艺设计

真空系统的工艺设计 马小龙X 中国华陆工程公司 西安 710054 摘要 介绍真空系统的基本概念、工艺设计及实际应用。 关键词 真空系统 工艺设计 真空系统的工艺设计.pdf，CHEMICALENGINEERINGDESIGN 化工设计2003，13(2)16真空系统的工艺设计马小龙 中国华陆工程公司 西安 710054摘要 介绍真空系统的基本概念、工艺
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4、真空系统的设计计算 、 4.1 气体负荷的计算 真空室内总气体负荷 漏气流量的计算 放气流量的计算 方法 渗透气体流量的计算 工艺工程中真空室内产生的气体流量的计 算4.2 抽气