SJ T 31132 94 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法

中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准

SJ/T 31132-94

ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法

1  主题内容与适用范围

本标准规定了ASM型微机扩散炉的完好要求和检查、评定方法。

    本标准适用于ASM型微机扩散炉。其它型号的微机扩散炉也可参照执行。

2  完好要求

2.1  主要技术指标

2.1.1  温度范围；300℃——1300℃。

2.1.2  温度稳定性。±0.5℃（在72h之内）。

2.1.3  副炉温度范围：300——950℃。

2.1.4  主炉温度范围：900——1300℃。

2.1.5  副炉恒温区：长度≥200mm±0.5℃。

2.1.6  主炉恒温区：长度≥860mm±0.5℃。

2.1.7  整机恒温区均匀性±0.5℃。每炉批之间。

2.2  机械系统

2.2.1  移动速率，进出舟为0.21mm/s--41.9mm/s,实用0.64mm/s--41.9mm/s，连续可设定。

2.2.2  移动距离1549mm，可任意设定。

2.2.3  拉力44N。

2.3  气路系统

2.3.1  气路系统的运动件在规定的各种速度范围内，不应发生振动和显著的冲击，不应有停滞现象。

2.3.2  各电磁接触器，磁力启动器，继电器动作灵活，到位，流量计工作正常。

2.3.3  各流量计指示正确，误差在允许范围内，且有有效期内校验合格证。

2.3.4  气路及真空管道、接头、阀门元件之间联接应牢固，密封、无漏气现象。

2.3.5  各气动阀、手动阀工作正常，开启、关闭灵活，到位。

2.4  电气系统

2.4.1  电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示正确可靠。线路无破损老化。

2.4.2  电气系统装置齐全，安全可靠，管线完整，性能良好。

2.4.3  各种开关动作灵敏，自动保护装置及报警装置齐全，安全可靠，工作灵敏可靠。

2.4.4  控制器按键操作灵活可靠。

2.4.5  各指示灯齐全，指示正确。CRT显示数据可靠。

2.4.6  自动保护装置和连锁装置齐全，工作正常。

2.4.7  测温组件指示正确。

2.4.8  大电流连接处无发热现象。

2.5  微机控制系统

2.5.1  各开关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠，控制装置各组成部分保持完整、功能齐全，性能稳定，工作状态良好，显示清晰。

2.5.2  显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。

2.5.3  输入／输出程序正确无误。

2.5.4  打印机、穿孔机与主机接口良好，工作正常。

2.5.5  装置内部清洁，布线整齐，线路无老化、破裂，各线路标志齐全、正确。

2.5.6  所有裸露导体件（包括外壳），必须与保护接地端子构成通路，保证有永久良好的导电性。保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于0.lΩ。

2.6  冷却系统

2.6.1  冷却器具齐全。

2.6.2  冷却系统不能有直线状的漏液流。

2.6.3  冷却管道，过滤网无堵塞。

2.6.4  冷却水不得渗入电气箱内和设备内。

2.6.5  风冷部分各风扇运行正常，过温保护装置动作灵敏。

2.6.6  净化柜风机运行正确。

2.6.7  装片净化柜的洁净度100级。

2.7  安全防护

2.7.1  设备保护盖板，挡尘板齐全，完整无损，牢固、可靠。

2.7.2  炉管两端用保温棉填塞，防止热量外泄。

2.7.3  排毒风管每管平均5CFm．

2.8  维护保养

按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行。

3  检查、评定方法

3.1  检查方法

3.1.1  用温度测试仪监测温度精度。

3.1.2  用2m左右长的热电偶放在炉堂正中，用数字温度计检测恒温区长度及温度精度。

3.1.3  其余项目用现场主观方法进行检查。

3.2  译定方法

3.2.1  主要项目有2.1.1、2.1.2、2.1.3、2.1.4、2.1.5、2.1.6、2.1.7。其余为次要项目。

3.2.2  主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。

3.2.3  完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。

附加说明：

本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。

本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。

本标准主要起草人：吴正伟、顾军建，王永忠。