SJ T 31131 94 4304型扩散炉完好要求和检查评定方法

中 华 人 民 共 和 国 子 行 业 标 准

SJ/T 31131-94

4304型扩散炉完好要求和检查评定方法

1  主题内容与适用范围

本标准规定了4304型扩散炉的完好要求和检查、评定方法。

本标准适用于4304型扩散炉。

本标准也适用于4104、3103扩散炉。其它型号的扩散炉也可参照执行。

2  完好要求

2.1  主要技术指标

2.1.2  温度稳定性士0.25℃（在72h之内）

2.1.3  恒温区长度760mm±0.5℃。

2.1.4 温度重复性士0.25℃，每炉批之间。

2.2  机械系统

2.2.1 移动速率，进出舟为0.21mm/s～41.9mm/s，实用0.64mm/s～41.9mm/s，连续可设定。

2.2.2  移动距离1549mm，可任意设定。

2.2.3  拉力>44N。

2.3  气路系统

2.3.1  气路系统的运动件在规定的各种速度范围内，不应发生振动和显著的冲击，不应有停滞现象。

2.3.2  各流量计指示正确，误差在允许范围内，且有有效期内校验合格证。

2.3.3  气路及真空管道、接头、阀门元件之间联结应牢固，密封、无漏气现象。

2.3.4 各气动阀、手动阀工作正常，开放、关闭灵活、到位。

2.4  电气系统

2.4.1  电气控制箱内布线整齐t各指示灯齐全完整，指示正确可靠。线路无破损老化。

2.4.2  电气系统装置齐全，安全可靠，管线完整，性能良好。

2.4.3  各种开关动作灵敏，自动保护装置及报警装置齐全，安全可靠，工作灵敏可靠。

2.4.4  各电磁接触器，磁力启动器，继电器动作灵活，工作正常。

2.4.5  控制器按键操作灵活可靠。

2.4.6  各指示灯齐全，指示正确，CRT显示数据可靠。

2.4.7  自动保护装置和连锁装置齐全，工作正常。

2.4.8  测温组件指示正常。

2.4.9  大电流连接处无发热现象。

2.5  冷却系统

2.5.1 冷印器具齐全。

2.5.2  玲却系统不能有直线状的漏液流。

2.5.3  冷却管道，过滤网无堵塞。

2.5.4  冷却水不得渗入电气箱内和设备内。

2.5.5  风冷部分各风扇运行正常，过温保护装置动作灵敏。

2.5.6 净化柜风机运行正常。

2.5.7  裳片净化柜的洁净度lO0级。

2.6  安全防护

2.6.1  设备保护盖板，挡住板齐全，完整无损、牢固、可靠。

2.6.2  炉管两端用保温棉填塞，防止热量外泄。

2.6.3  排毒风管每管平均5CFM。

2.7  维护保养

  按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行。

3  检查、评定方法

3.1  检查方法

3.1.1  用温度测试仪监测温度精度。

3.1.2  用2m左右长的热电偶放在炉堂正中，用数字温度计检测恒温区长度及温度精度。

3.1.3  其余项目用现场主观方法进行检查。

3.2  评定方法

3.2.1  主要项目有2.1.1、2.1.2、2.1.3、2.1.4。其余为次要项目。

3.2.2  主要项目有一项不符合要求，为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。

3.2.3  完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。

附加说明：

本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。

本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。

本标准主要起草人：谢国元、吴秀琴。