SJ T 31068 94 离子注入机完好要求和检查评定方法

 

中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准

SJ/T 31068-94

离子注入机完好要求和检查评定方法

1  主题内容与适用范囝

-2F型电能离子注入机和200MC--A型离子注入机的完好要求和检

查、评定方法。

    本标准适用于半导体器件集成电路生产用离子注入机。

2  术语

2.1  能量一到达靶上，离子所有的动能。

2.2  束流一单位时间内到达靶上的离子束的电荷量。

2.3  均匀性一表征注入离子剂量不均匀程度的相对标准偏差。

2.4  重复性一表征片间（或批次间）在相同条件下，注入离子剂量不重复程度的相对标准偏差。

3  完好要求

3.1  主要性能

3.1.1  能量范围：  5--200KeV ；

3.1.2  柬流强度：  B+≥0.5mA ；

                   P+≥1.45mA ；

                   AS+≥1.2mA ；

                   S+_b≥0.7mA ；

3.1.3  均匀性：    σ≤0. 75% ；

3.1.4  重复性：    σ≤0. 5% ；

3.1.5  真空度：    6.65× 10^-4Pa ；

3.1.6  注片尺寸： φ50～φlOOmm ；

3.1.7  注入角度：O°～15°，可调。

3.2  操作系统

3.2.1  各操作开关、按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全。

3.2.2  制动、限位装置齐全，灵活可靠。

3.3  传动系统

3.3.1  上、下料工作台传动机构运动平稳，无冲击和卡片现象，定位正确，无跳片现象。

3.4    离子发生系统

3.4.1  离子源放电稳定，引出离子符合要求。

3.4.2  磁分析器工作正常，质量分辨率去刍大于100。

3.4.3  聚焦波形良好，扫描均匀，中性束分离阱工作正常。

3.5  真空系统

3.5.1  机械泵工作稳定，技术性能满足生产工艺要求，具体完好要求参照SJ/T 31412--94执行。

3.5.2  扩散泵工作稳定功能可靠。

3.5.3  冷泵压缩机工作稳定可靠，过热保护灵敏，冷却温度显示正确。

3.5.4  各电磁阀、气动阀、手动阀、热偶计、电离规工作正常、可靠。

3.5.5  真空管路连接紧固，密封性好、无泄漏。

3.5.6  各种仪表、热偶计等齐全、完整无缺损，指示灵敏、可靠，有有效期校验合格证。

3.6  电气系统

3.6.1 电气系统装置齐全、管线完整，性能良好，运行可靠。

3.6.2  电气箱内清洁，布线整齐，线路无破损、老化；各种线路标志明显，连接可靠。

3.6.3  各指示灯、按钮开关齐全、完整，工作可靠

3.6.4  各电压、电流表指示正确，有有效期校验合格证。

3.7  冷却系统

3.7.1  冷却器具齐全。

3.7.2  冷却系统不能有直线状的漏液流。

3.7.3  交换器、水泵、循环水、离子交换树脂简工作正常。

3.7.4  冷却液不变质，无腐臭味。

3.8  安全防护

3.8.1  离子注入机没有专用接地装置，其接地电阻小于2Ω。

3.8.2  防辐射装置正常到位。

3.8.3  机顶排气扇工作正常。

3.8.4  高压门锁开关运行可靠。

3.9  维护保养

3.9.1  定期清洗离子源，更换机械泵油。

3.9.2  其它按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行

 

4  检查、评定方法

 

4.1  检查方法

4.1.1  能量用Q--8型静电高压表校测高压电源的指示值。

4.1.2  束流强度是在能量为200KeV时，通过积分仪的电流表直接读得。

4.1.3  均匀性可任意选择B或P进行注片，注入量为1×10¹⁴cm²，注入能量为150KeV，每片注入四靶，在相同条件下共注入四靶，用STZ型数字四探针测试仪对每靶进行均匀性检验。计算程序、方法如下：

    用(1)式先计算每个测试点所得的四个薄层电阻R_K的平均值。

……………………（1）

根据每个测试点的电阻R_j，用(2)式算出每个靶的平均电阻值R和用(3)式计算绝对标准偏差

σ_n-1、(4)式计算相对标准偏差σ。计算公式分别为：

……………………（2）

式中：n为每靶的测量点数。

……………………（3）

％……………………（4）

4.1.4 选择不少于四批16靶重复性检测，方法同4.1.3。用四批16靶所计算的每靶的平均电阻R_j。算出16靶的各平均电阻R，绝对标准σ_m-1和相对标准偏差σ。计算方法如下：

……………………（5）

    式中：m为试验的靶数，一般不少于16靶。

4.1.5  真空度用离子规管或电离真空计检测。

4.1.6  射线照射率是在能量200KeV情况下，用FD--71型内烁辐射仪或FJ--347A型射线

测试仪检测。

4.1.7  对各系统完好要求，在设备现场采用主观法检查。

4.2  评定方法

4.2.1  完好要求所列内容中，3.1.1～3.1.5、3.2.2、3.8.1为主要项目，其余为次要项目。

4.2.2  主要项目有一项不符合要求，为不完好设备，次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。

4.2.3  完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。

附加说明：

本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。

本标准虫国营南京有线电厂组织起草。

本标准主要起草人：颜亨迪（电子工业部第48所）

                  金四海、顾军建、吴正伟（中国华品电子集团公司）

 

 

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