SJ T 31065 94 24型晶片数控抛光机 完好要求和检查评定方法

 

中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准

                                                       SJ/T 31065--94

24型晶片数控抛光机

完好要求和检查评定方法

1  主题内容与适用范围

    本标准规定了晶片数控研磨、抛光机的完好要求和检查、评定方法．

    本标准适用于Kayex--Spitfre 360系统(24型)研磨、抛光机，结构类似的其它型号的研磨、抛光机，亦可参照本标准有关条款执行。

2  完好要求

2.1  主要技术性能

2.1.1  工件加工时，不应发生翘曲现象，应能稳定地达到加工面精度要求，无腐蚀坑、麻点、桔皮状、规则波纹、裂伤、塌边或拉丝等现象．

2.1.2  设备的技术性能均应达到规定的精度要求，几何精度完好要求和检测方法，见表1。

表1

序号	检测项目	完好标准	检测方法	图  示
Gl	上下抛光盘的平面度	≤0.025mm （只允许中   间凹）	①在抛光盘上假定的a、b、c三个基准点上，分别放一等高块，将平尺放在a—c等高量块上，在b处放一可调最块，使其与平尺下表面接触，再将平面放在b--d量块上，在c点放一可调量块，使其与平尺下表面接触分别确定d、c点的可调量块高度。将平尺放在图l规定的各个位置上，用量块测量平尺与工作台面间的距离。   误差以平面上各点对基准面向坐标值的最大代数差值计。局部误差以任意局部测量长度上相邻两端点对基准面间坐标值的最大代数值计。   ②上抛光盘移动至平尺合面，用塞尺检测．误差以塞尺最大值计。

 

续表1

序号	检测项目	完好标准	检测方法	图  示
G2	抛光盘的端 面跳动	≤0.05mm	固定指示器，使其测头触及抛光盘边缘处，旋转抛光盘进行检测（上、下分别进行）。   误差以指示器读数的最大差值计。
G3	抛光盘的径 向跳动	≤0.05mm	固定指示器，使其测头触及抛光盘外圆面上，旋转抛光盘检测。   上、下盘分别检测。   误差以指示器读数的最大差值计。
G4	上下抛光盘 之间的平行 度	≤0.06mm	在下抛光盘上放一指示器，使其测头触及上抛光盘下平面上。   当上抛光盘在距离最大行程上限向下1/3位置时，按三角形在最大实际检测长度内进行检测。   误差按指示器移动时的最大读数差值计。

 

2.2  操作系统

2.2.1  各操作手柄、开关、按钮启动灵活，定位可靠，标志齐全。

2.2.2  上抛光盘升降制动限位装置齐全，灵敏、可靠．

2.3  传动系统

2.3.1  直流电机调速正常可靠，运转均匀，噪声响度不大于70dB。

2.3.2  上下抛光盘及载盘转动均匀平稳，无跳动及摆动不良现象，确保抛光工件的精度及均匀性。

2.4  润滑系统

2.4.1  下抛光盘的传动变速箱及上下盘的轴承转动、载盘转动等润滑部位润滑装置完整无

损，管路齐全，接头牢固无泄漏，油路畅通。

2.4.2  油位标志醒目，油窗明亮，油位清晰，润滑良好。

2.5  压缩空气

2.5.1  上抛光盘升降是由气缸气动机构驱动，各接头应牢固，气动元件良好无缺无损。

2.5.2  压缩空气是采用集中供气的管道气（是经过水、油、尘埃净化过滤的），干燥纯净压缩空气气压为o．57MPa．最大用气量3MS/S。气压、气量、气质均应符合设备所需要求，压力、流量、均由气压表和流量计调节计量。

2.5.3  如配备专用空气压缩机时，所选用的空气压缩机的技术参数应符合主设备的要求，否则应配备干燥过滤装置，但其主要技术指标（气压、气量、气质等）应符合所需要求。空气压缩机的完好要求参照SJ/T 31405--94或SJ/T 31406--94执行。

2.6  冷却及抛光液供给系统

2.6.1  上下抛光盘冷却用去离子水循环冷却，水温不超过4℃（采用冷凝剂降温），防止加工过程中温度过高对工件以及抛光盘等热变形。压力、流量、水质均应符合设备所需要求。

2.6.2  抛光液应按加工件要求配制，储存在筒内，经过过滤由一小电动泵抽出液体，注入加工件作抛光之用，压力、流量应根据加工件所需要求提供。

2.6.3  抛光液是一次性使用，不回收，排放是用φ76μm接口管道排放，排除的废液必须采取环保措旅。

2.7  电气系统

2.7.1  电气柜进电电源为236V，60Hz。三项交流电30A连续电源，电压必须在214～246V

之间。

2.7.2  线路完整，执行元件性能正常，运行可靠。

2.7.3  线路绝缘层无老化破裂，无漏电现象，保护装置齐全、有效。

2.6  数控系统

2.8.1  主控单元、元器件性能可靠，运算正确控制软件功能齐全，自检程序运行正常。

2.8.2  位置控制单元，速度控制单元，连接单元的元器件性能可靠，定位准确，运行平稳，各控制信号和控制回路畅通。

2.8.3  手动数据输入和显示功能齐全、有效。

2.8.4  伺服电机运行平稳、噪音、温升符合电机出厂指标，工作可靠。

2.8.5  手摇脉冲发生器动作灵敏，到位准确。

2.8.6  程序输入／输出装置保持清洁，输入／输出程序正确无误。

2.8.7  控制柜内部清洁，布线整齐、线路无老化，各线路标志明显。

2.9  微机控制系统

2.9.1  各开关、按钮、操作键完整无损，动作灵敏、可靠。控制装置各组成部分保持完整、功能齐全，性能稳定，工作状态良好，显示清洁、可靠。

2.9.2  显示器能正常显示通电自检的正常信息，微机系统通电自检功能必须正常。

2.9.3  输入／输出程序正确无误。

2.9.4  打印机、穿孔机与主机接口良好，工作正常。

2.9.5  装置内部清洁，布线整齐，线路无老化、破裂、各线路标志齐全、正确。

2.9.6  所有裸露导体件（包括外壳），必须与保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大子0. 1Ω。

2.10  附件

2.10.1  附件齐全，保管良好，无锈蚀、损伤、挥发霉变、腐蚀等现象。

2.10.2  工作载盘、抛光布，工作完成后应处理干净妥善保管。

2.11  设备环境要求

2.11.1  设备应安放在恒温室，有防尘净化措施，恒温要求在20～24℃范围内，防尘净化在千级标准，并要求通风良好。

2.12  安全防护

 

2.12.1  各防护装置齐全，安全、可靠。

2.12.2  接地可靠，标志明显。

2.13  维护保养

2.13.1  设备内外清洁，无锈蚀，无异味。

2.13.2  设备出现故障应随时修理，不可带病工作。

2.13.3  其他按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行。

 

3  检查、评定方法

 

3.1  检查方法

    在完好要求所列内容中，技术性能采用客观法检测，即运用相应仪器和检具检测。对各系统完好要求，在设备现场，采用主观法和客观法（指有参数要求的条款）相结合，进行检查。

3.2  评定方法

3.2.1  完好要求中，2.1各项和2.3.2、2.6.3、2.7.1、2.8.1～2.8.5、2.9.1～2.9.6、2.12.1～2.12.2为主要项目，其余为次要项目。

3.2.2  主要项目有一项不符合要求，为不完好设备；次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。

3.2.3  完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。

附加说明：

本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。

本标准由电子工业部第55所组织起草。

本标准主要起草人：张振华。

 

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