SJ 2795—87 电子级氮

中华人民共和国电子重业部部标准

SJ 2795—87

电子级氮

    本标准适用于，p导体材料，分立器体和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氮，按其使用要求电子级氨，分为三级，代号为：

    电子Ⅱ级氮代号为：DZN2—Ⅱ；

    电子Ⅱ级氮代号为：DZN2--Ⅱ；

    电子I级氮代号为：DZN2—I。

 1  技术要求

    1.1  电子级氮应符合表1中的要求：

表1  电子级氮技术指标

    注，表1中气体含噩均为体积比．

    1.2电子级氮的含量（C氮）按下列公式计算：

    式中：C氮——电子级氮的体积百分含量；

    C杂——杂质的体积百分含避。

2  试验方法

    2.1  电子氮中杂质岔量应接表2规定方法进行检验。

寝2  电子级氮中杂质检验方法

    裘：①0. 5ppm以下氧含量测定法标准待定．

    @0．3 μm以下颗粒测定方法标准待定．

3  检验规则

  3．1  电子级氮由用气单位的质量检验部门按技术指标经常检验，应符合本标准的规定。

  3.2  电子级氮的检验（取样）点在纯化装置至用气设备的管段。见下图所示；

   3．3当检验点前的气源改变时，必须检验表l中2～7项各种指标，应符合本标准中

的规定。

    3.4纯化烧置至用气设备的管路，管接件和过滤器更换与维修后检验表中3和7两项

指标，应符合本标准中的规定。

    3.5检验用的仪表与检验点之间使用的金属管道硬接连接，管道应尽量短、不得有泄露

和二次污染。

附加说明；

本标准由中园电子学会洁净技术学会提出，由电子工业部标准化研究所主办。

本标准由电子工业部第十设计研究院陈霖新和谭易和，电子工业部标准化研究所赵长春和

北京市半导体器件试验中心周定华起草和修订.